疫情期间在家学习系列之光弹法在半导体晶圆应力测试中的应用 光弹法半导体晶圆应力测试中的应用：　　（2）开发了显微红外光弹系统，并在国际上率先应用于硅通孔结构在制作工艺过程中应力的全场及实时监测，解决了以往测试手段的局限，为TSV工艺的优化和可靠性提高提供了保障。这一成果获得业界的高度评价，相关论文在最近的ICEPT2015上获得最佳论文奖。

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